[20a-C202-1~11] 15.7 結晶評価，不純物・結晶欠陥

[20a-C202-2] 微傾斜4H-SiC-m面の表面構造

〇(M2)村瀬 慎太郎¹、福間 洸平¹、アントン ビシコフスキー¹、田中 悟¹ (1.九大院工)

キーワード：4H-SiC-m面、表面構造