PDF ダウンロード スケジュール 20 いいね！ 3 コメント (0) 09:00 〜 09:15 [20a-C302-1] 異なるガス種でスパッタしたHf薄膜の特性 〇鈴木 和寿1、川村 みどり1、木場 隆之1、阿部 良夫1 (1.北見工大工) キーワード：Hf薄膜、Krガス、電気抵抗率
