[20a-C302-1~9] 6.4 薄膜新材料

[20a-C302-2] Au薄膜の抵抗率におけるスパッタガス種の影響

〇早坂 楓光斗¹、川村 みどり¹、木場 隆之¹、阿部 良夫¹ (1.北見工大工)

キーワード：スパッタリング、金、抵抗率