[20p-A105-1~11] 8.1 Plasma production and diagnostics

[20p-A105-7] Investigation of the reflection spectrum to enhance in-situ measurements of deposited film thickness and electron density with double curling probes

〇(M1)Shota Kato¹, Keiji Nakamura¹, Daisuke Ogawa¹ (1.Chubu Univ.)

Keywords:Curling Probe, Electron Density, deposited film thickness

ラングミュアプローブは、最も基本的なプラズマ計測法として挙げられるが、材料プロセスで用いられるプラズマは膜が堆積する場合があり、そのような電子密度計測には不向きとされている。それに対し、マイクロ波を用いたカーリングプローブは、マイクロ波領域における電磁波の共振現象を用いることでプラズマ中の電子密度を計測することが可能となる。本発表では、カーリングプローブを用いた最新の研究結果の報告を行う。