[20p-A406-1~13] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術

[20p-A406-13] ミニマルファブを用いた３軸ピエゾ抵抗型加速度センサの開発

〇小粥 敬成¹、田中 宏幸²、居村 史人²、クンプアン ソマワン^1,2、原 史朗^1,2 (1.ミニマルファブ、2.産総研)

キーワード：ミニマル、MEMS、センサ

これまでピエゾ抵抗型１軸加速度センサ及び２軸加速度センサについて検討を行ってきたが、仕上げの段階として今までの知見を反映させ、フルミニマルプロセスによる３軸加速度センサの設計、試作を行った。試料を直接振動させて加速度を加え、出力電圧を測定した。x軸、y軸、z軸の感度の違いがあるものの3軸とも加速度に対し比例した出力電圧を得ることができ、基本的な特性を確認した。