[20p-B103-1~19] 6.1 強誘電体薄膜

△ [20p-B103-14] 耐電力性向上を目的とした
分極反転ScAlN薄膜ブラッグ反射共振子

〇(M1)柴田 真之^1,2、柳谷 隆彦^1,2,3,4 (1.早大先進理工、2.材研、3.JST-CREST、4.JST-FOREST)

キーワード：ScAlN、耐電力性、BAWフィルタ

5Gの普及に伴う基地局の増設から、周波数フィルタの小型化が求められていおり、基地局の周波数フィルタとして現在用いられている誘電体共振器に代わり、BAWフィルタの利用が検討されている。しかし現状BAWフィルタの耐電力性は数W程度であり、耐電力性を向上させる必要がある。本報告ではBAWフィルタの耐電力性向上を目的として、ScAlNを用いた分極反転多層構造により、圧電薄膜の耐電力性向上を検討した。