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[20p-B104-16] Short channel organic TFT with reverse offset printed top electrodes
Keywords:Organic Thin Film Transistor, reverse offset printing
反転オフセット印刷法はμmオーダーの微細印刷が可能であり、短チャネルOTFTを集積化できる手法として期待されている。加えて、印刷時に金属インクが半乾燥状態で転写される特徴を利用することで、有機半導体層に対する電極材料の溶剤によるダメージを低減し、コンタクト抵抗低減に有利なトップコンタクト(TC)型構造が実現できると考えた。本研究では反転オフセット印刷を用いた短チャネルTC型OTFTの作製を検討したので報告する。