PDF ダウンロード スケジュール 29 いいね! 2 コメント (0) 17:15 〜 17:30 [20p-B201-14] 微傾斜サファイア基板・極性反転を用いたAl面・N面AlNの結晶性と平坦性の改善 〇奥野 椋1、松村 航1、花咲 光基1、小脇 岳土1、宮本 弥凪1、藤井 開1、倉井 聡1、岡田 成仁1、姚 永昭2、石川 由加里2、山田 陽一1 (1.山口大院・創成科学、2.ファインセラミックスセンター) キーワード:AlN、極小ピット