[20p-B201-1~16] 15.4 III-V-group nitride crystals

△ [20p-B201-3] Fabrication of nanocolumn crystals for 5×5µm area RGB integrated µLEDs

〇Koji Takahashi¹, Kenya Yoshimura¹, Jumpei Yamada², Rie Togashi^1,2, Ichirou Nomura^1,2, Katsumi Kishino² (1.Sophia Univ., 2.Sophia Nanotech.)

Keywords:Nanocolumn, microLED

本研究では異なる直径、周期のInGaN/GaNナノコラム結晶を5x5µm領域内でRGB発光となるよう集積させて配置した。これらのナノコラム結晶では活性層の下地となるGaNナノコラムをGaリッチにすることでコラムトップ角度をC面に近づけ、活性層内の高In組成部体積を増やすことで赤色発光の純色性を高めたと同時に短波長発光が確認された長周期ナノコラムを5x5µm領域内に配置することで作製した。