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[20p-B202-6] 半極性面AlGaN量子井戸からの波長250 nm以下での高効率発光
キーワード：AlGaN、半極性、far UVC
半極性面は極性面に比べ，量子閉じ込めシュタルク効果を抑制できる点や偏光特性で光デバイスとして有利な特性を持つ．一方，最近Far UVC領域の深紫外光源が人体に悪影響なくウィルスを不活性化できるとの報告があるが，AlGaN系深紫外LEDの効率は短波長になるにつれ低下する．本発表では，半極性r面上AlGaN量子井戸がこの波長域で高い発光効率を示すことができるのか，c面との比較も含め検討する．