[20p-B204-1~13] 6.3 Oxide electronics

△ [20p-B204-13] Phase transition of epitaxial cobalt oxide films by vacuum ultraviolet light irradiation

〇Kenta Kaneko¹, Hiroki Shoji¹, Yuchi Qiao¹, Tomoaki Oga¹, Satoru Kaneko^2,1, Mamoru Yoshimoto¹, Akifumi Matsuda¹ (1.Tokyo Tech, 2.KISTEC)

Keywords:Cobalt oxide, vacuum ultraviolet light, epitaxial thin film

ドーパントフリーエピタキシャル酸化コバルト薄膜について、Xe₂^＊エキシマランプを用いた真空紫外（VUV）光照射が薄膜構造および物性に与える影響について検討した。エピタキシャル酸化コバルト薄膜は、CoO焼結体ターゲットを用いたPLD法によって、原子ステップα-Al₂O₃(0001)基板上に堆積した。得られた薄膜に対してVUV光照射を大気中で行い、顕著な結晶相変化および相変化に伴う物性変化が確認された。講演では、詳細な構造解析、物性評価について報告する。