[20p-B204-1~13] 6.3 酸化物エレクトロニクス

△ [20p-B204-13] 真空紫外光照射によるエピタキシャル酸化コバルト薄膜の結晶相変化

〇金子 健太¹、庄司 拓貴¹、喬 宇馳¹、大賀 友瑛¹、金子 智^2,1、吉本 護¹、松田 晃史¹ (1.東工大物質理工、2.神奈川産技総研)

キーワード：酸化コバルト、真空紫外光、エピタキシャル薄膜

ドーパントフリーエピタキシャル酸化コバルト薄膜について、Xe₂^＊エキシマランプを用いた真空紫外（VUV）光照射が薄膜構造および物性に与える影響について検討した。エピタキシャル酸化コバルト薄膜は、CoO焼結体ターゲットを用いたPLD法によって、原子ステップα-Al₂O₃(0001)基板上に堆積した。得られた薄膜に対してVUV光照射を大気中で行い、顕著な結晶相変化および相変化に伴う物性変化が確認された。講演では、詳細な構造解析、物性評価について報告する。