[20p-C101-1~17] 16.3 シリコン系太陽電池

△ [20p-C101-5] 硝酸アルミニウム水溶液への浸漬処理により形成したAlドープ超極薄SiO_xのSi表面のパッシベーション機構

〇(D)中島 寛記¹、Huynh Thi Cam Tu¹、大平 圭介¹ (1.北陸先端大)

キーワード：表面パッシベーション、極薄酸化膜、湿式法

n型Si基板をAl(NO₃)₃水溶液に浸漬して形成したAlドープ超極薄SiO_x膜におけるパッシベーション機構の解明を目的に、実効少数キャリア寿命(τ_eff)の詳細な調査を行った。キャリア励起にパルスレーザ光を用いた測定では、高い余剰キャリア密度(Δn)ほどτ_effが増加したのに対し、フラッシュランプ光を用いた擬定常状態での測定では、高いΔnほどτ_effが低下した。このことから、パッシベーション機構は励起電子で誘起された電界効果によるものと考えられる。