[20p-C106-1~13] 12.1 作製・構造制御

△ [20p-C106-9] Smart Skin Display用マイクロLEDのCuめっき直接接合技術: 不良解析と歩留り強化

〇煤孫 祐樹¹、星 匡朗¹、劉 暢¹、篠田 敦志²、木野 久志³、田中 徹^1,3、福島 誉史^1,3 (1.東北大院工、2.東北大工、3.東北大院医工)

キーワード：スマートスキンディスプレイ、マイクロLED、フレキシブルハイブリッドエレクトロニクス

マイクロLEDのCuめっき直接接合技術の不良解析を行い、歩留り向上を目的として２つの工程を導入した。１つは、熱に弱いテープレベルで常温のOER-CVDによるマイクロLED側壁への絶縁膜形成、もう１つはウエハボンダを用いた追加圧である。後者はショートの原因となる空隙の除去に加え、マイクロLEDアレイの共平面性を高めることも可能とした。これらのプロセス最適化により、接合歩留りを大きく向上させることに成功した。