[20p-C202-1~8] 15.7 結晶評価，不純物・結晶欠陥

[20p-C202-6] シリコン結晶基板の品質と点欠陥(8) アボガドロ結晶の格子定数不均一

〇井上 直久¹、川又 修一¹、奥田 修一¹ (1.大阪公立大　放射線センター)

キーワード：シリコン結晶、格子定数、格子欠陥

これまでのキログラム原器に代わって、シリコン結晶の格子定数と体積と重量の超精密測定によるプランク定数とアボガドロ定数を用いる国際単位系が施行された。信頼性を高めるために格子定数不均一や原因の結晶欠陥が問題となる。同位体と炭素による不均一測定値から濃度不均一を解析した。また真正点欠陥や二次欠陥の影響を見積もった。成長縞を横切るのでSIMS分布分析を、また先端評価技術で複合評価することを提案した。