[20p-C202-1~8] 15.7 結晶評価，不純物・結晶欠陥

[20p-C202-7] シリコン結晶の高感度赤外吸収と赤外欠陥動力学(21) 空孔窒素複合体の熱処理挙動

〇井上 直久¹、川又 修一¹、奥田 修一¹ (1.大阪公立大放射線センター)

キーワード：シリコン結晶、窒素、空孔

窒素ドープにより空洞欠陥が抑制できることから空孔窒素V-N反応が注目されている。我々はFZ結晶に照射により点欠陥を導入し赤外吸収により挙動を検討している。VNN(726, 788cm-1), VVNN (688), VNs(685)吸収を発見し同定した。またas-grown FZ結晶にVVNNがNNの1/15含まれていることを見出した。以前に照射800℃熱処理によりNNが1％増加することを見出していたが、grown-inのVVNNの一部が分解していることを明らかにした。