15:00 〜 15:15 [20p-C202-6] シリコン結晶基板の品質と点欠陥(8) アボガドロ結晶の格子定数不均一 〇井上 直久1、川又 修一1、奥田 修一1 (1.大阪公立大 放射線センター)
15:15 〜 15:30 [20p-C202-7] シリコン結晶の高感度赤外吸収と赤外欠陥動力学(21) 空孔窒素複合体の熱処理挙動 〇井上 直久1、川又 修一1、奥田 修一1 (1.大阪公立大放射線センター)
15:30 〜 15:45 [20p-C202-8] シリコン結晶中の低濃度炭素の測定(25)濃度1013/㎝3台の低温赤外吸収 〇井上 直久1、奥田 修一1、川又 修一1 (1.大阪公立大放射線センター)
