[20p-C302-1~12] 6.4 薄膜新材料

[20p-C302-8] 活性水素発生効率の向上によるLiHエピタキシャル薄膜の単相化

〇(M1)宗房 幸太¹、八田 李咲子¹、大口 裕之¹ (1.芝浦工大理工)

キーワード：赤外レーザー蒸着法、活性水素

1族・2族金属水素化物は、高温超伝導など水素由来の特殊な物性を示し、高品質薄膜化することで物性研究の進展や新規デバイス開拓が期待されている。最近我々は、赤外レーザー蒸着法を用いた金属水素化物の高品質薄膜化には、活性水素が鍵であることを見出したが、活性水素の供給条件が確立されていない。そこで、成膜時における活性水素の使用法に絞り、赤外レーザー蒸着法を用いた単相LiH薄膜の成長を目指した。