[20p-P04-1~21] 13.7 化合物及びパワーデバイス・プロセス技術・評価

[20p-P04-21] マイクロ波磁場による窒化ガリウム基板の急速アニーリング技術の開発と基板の特性評価

〇中村 考志¹、西岡 将輝¹、鄭 恵貞²、田中 敦之²、天野 浩² (1.産総研、2.名大)

キーワード：マイクロ波、イオン注入、アニーリング

イオン注入された窒化ガリウムは、注入により壊れた結晶を回復させるため、アニーリングが必要である。その温度は約1300℃と高温であり、エネルギー多消費型のプロセスである。研究ではマイクロ波の直接加熱の特性により20秒以内に1400℃まで加熱できる省エネプロセスを開発した。また、加熱には結晶のベクトルと電磁界ベクトルとの関係が重要であることも明らかにしたので報告する。