[21a-A106-1~9] 15.5 IV族結晶，IV-IV族混晶

△ [21a-A106-7] 固相成長による多結晶Yb₃Ge₅の薄膜合成と熱電応用

〇石山 隆光¹、小澤 知輝¹、末益 崇¹、都甲 薫¹ (1.筑波大院)

キーワード：フレキシブル熱電、ゲルマニウム、固相成長

無毒で安定なYb₃Ge₅は金属的な導電率を持ちながら優れたゼーベック係数を示すため、薄膜熱電材料としても有望である。今回、我々が培ってきたGe系薄膜の固相成長技術を活用し、Yb₃Ge₅の薄膜合成を検討した。組成に対する結晶性並びに成長様態、そして熱電特性の関係を包括的に整理し、高い出力因子を実証したので報告する。