[21a-B200-1~2] 8.8 プラズマエレクトロニクス賞受賞記念講演

[21a-B200-2] [プラズマエレクトロニクス賞受賞記念講演] 連続スペクトル計測による大気圧非平衡Arプラズマ電子温度密度診断

大西 広¹、山崎 文徳¹、箱崎 喜郎¹、竹村 将沙樹¹、根津 篤¹、〇赤塚 洋¹ (1.東工大)

キーワード：大気圧非平衡プラズマ、連続スペクトル、発光分光計測

連続スペクトルにより、大気圧非平衡アルゴンプラズマの電子温度・密度の計測可能性を研究した。放電空間を限定できる放電装置を用い、絶対校正済の測定系で発光分光計測を実施した. このスペクトルを理論曲線でフィッティングする。Druyvesteyn 電子エネルギー分布関数を仮定すると適切な値が導出された。衝突輻射モデルによる励起状態密度と線スペクトル強度とのクロスチェックによりより、妥当性を確認した。