[21a-B200-3~3] 8.7 プラズマエレクトロニクス分科内招待講演

[21a-B200-3] [分科内招待講演] 持続可能な社会を実現するプラズマプロセスの課題と展望

〇瀬川 澄江¹ (1.東京エレクトロン株式会社)

キーワード：半導体、環境、持続可能性

半導体製造において、半導体メーカのCO2排出量の7割以上を製造工程によるCO2排出量が占めるという報告もあり、ドライプロセス装置での資源消費の問題は特筆して高い。CO2排出量の観点から、換算されるすべての用力削減に向けた技術革新に加え、PFAS規制に対する懸念からも抜本的な取組が求められている。本講演では、2050年Net Zeroに向けた挑戦を紹介し、これからの半導体製造技術の在り方について論じたい。