[21a-B203-1~11] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[21a-B203-1] 赤外線レーザー蒸着装置を用いた酸化亜鉛薄膜の合成

〇増田 達也¹、太宰 卓朗^1,2、佐藤 利弘³、関根 徳彦⁴、寳迫 巌⁴、高橋 竜太²、鯉沼 秀臣¹ (1.SCT、2.日大工、3.バキュームプロダクツ、4.情報通信研究機構)

キーワード：酸化亜鉛、赤外線レーザー、薄膜