[21a-C102-1~11] 9.4 Thermoelectric conversion

[21a-C102-1] Development of Double-cavities Planar-type Thermoelectric Generator with Phononic Crystal Nanostructure Silicon Film

〇Ryoto Yanagisawa¹, Kentaro Furusawa², Patrick Ruther³, Oliver Paul³, Masahiro Nomura¹ (1.IIS Univ. of Tokyo, 2.NICT, 3.Univ. of Freiburg)

Keywords:phonon, thermoelectrics, silicon

環境発電応用に向けてシリコンウエハ上に平面型熱電発電素子の開発を行った。厚さ1.1umの多結晶シリコン層をデバイス層に持つSOIウエハ上に熱伝導率を低減するためのフォノニック結晶ナノ構造を作製し、酸化膜犠牲層エッチングとキャップウエハの張り合わせを用いてデバイス層上下にキャビティ構造を作製した。上下キャビティのブリッジ構造によりデバイス層面内に温度差が生じ、熱電発電性能を評価した結果、10Kの温度差から12.2uW/cm²の発電量密度を得た。