[21a-C102-1~11] 9.4 熱電変換

[21a-C102-2] Fe₂V_0.8W_0.2Al/Si界面のショットキー障壁が熱電特性に与える影響

〇前田 俊光¹、上沼 睦典¹、石田 翔麻¹、榎本 康生¹、浦岡 行治¹ (1.奈良先端大)

キーワード：熱電変換、薄膜

薄膜型の熱電変換素子は低コストで生産が可能であるが、従来のバルク熱電変換素子に比べて電力密度が低い。しかし、近年になってSi基板上に堆積したFe₂V_0.8W_0.2Al薄膜が高い出力因子を持つこと報告されたが、この特異的な要因は十分な議論がなされていない。そこで、本研究では基板複合構造を作製し、界面のショットキー障壁がこのような特異的な熱電特性に与える影響について評価した。