[21a-C202-1~12] 17.3 層状物質

[21a-C202-11] MoS₂膜質のスパッタ成膜レート依存性調査

〇今井 慎也¹、小野 凌¹、宗田 伊理也¹、角嶋 邦之¹、辰巳 哲也¹、冨谷 茂隆¹、筒井 一生¹、若林 整¹ (1.東工大工)

キーワード：二硫化モリブデン、スパッタリング