11:30 〜 11:45 [21a-C202-11] MoS2膜質のスパッタ成膜レート依存性調査 〇今井 慎也1、小野 凌1、宗田 伊理也1、角嶋 邦之1、辰巳 哲也1、冨谷 茂隆1、筒井 一生1、若林 整1 (1.東工大工)