[21a-C206-1~13] 13.1 Si系基礎物性・表面界面・シミュレーション

[21a-C206-8] Ru配線の原子論的輸送計算に向けた反応力場構築

〇田中 貴久¹、内田 建¹ (1.東大工)

キーワード：配線、表面、分子動力学