DFB及びDBRレーザ用回折格子の深堀エッチングの検討

講演情報

一般セッション(口頭講演)

3 光・フォトニクス » 3.12 半導体光デバイス（旧3.13）

2022年9月21日(水) 09:00 〜 11:45 C301 (C301)

10:30 〜 10:45

〇(M2)勝原龍海¹、矢吹諒太¹、へインサルシーム¹、葛治平¹、松本敦²、赤羽浩一²、松島祐一¹、石川浩¹、宇高勝之¹ (1.早稲田大基幹理工、2.情報通信研究機構)

キーワード：DFB、DBR