[21a-C306-1~10] 7.2 電子ビーム応用

△ [21a-C306-1] 超高感度走査透過電子顕微鏡法OBF STEMの開発による電子線敏感材料の原子構造直接観察

〇大江 耕介^1,2、関 岳人^2,3、吉田 要¹、河野 祐二⁴、幾原 雄一^1,2、柴田 直哉^1,2 (1.JFCC、2.東大、3.JSTさきがけ、4.日本電子)

キーワード：走査透過電子顕微鏡、低ドーズ観察、ゼオライト

走査透過電子顕微鏡法（STEM）において、従来手法より100倍程度高い感度を有する結像法として最適明視野（OBF）STEM法を開発した。OBF法は従来よりも大幅に少ない電子線照射量にて材料中の原子構造を直接観察することができる。本研究では、電子線に弱い多孔質材料であるゼオライトにOBF法を利用することによって、ゼオライト原子構造の可視化に成功した。