[21a-P03-1~12] 11 超伝導(ポスター)

[21a-P03-7] 高密度な直線的 BaHfO₃ ナノロッドを目指した Nd:YAG-PLD 法による YBCO 薄膜作製プロセスの開発

〇橋本 満敏¹、清家 善之¹、森 竜雄¹、一野 祐亮¹ (1.愛工大)

キーワード：YBCO

BHOをYBCO膜に添加すると、基板温度が低い場合はナノロッドのサイズが小さくなり、大量のナノロッドが形成されるが、傾いて成長する。基板温度が高いと、ナノロッドのサイズは太くなり、量は少なくなるがまっすぐ成長する。
以上の性質をからNd:YAGパルスレーザー蒸着法を用いて、低い基板温度で多数のナノロッドを生成し、次に高い基板温度で最初のナノロッドの上にまっすぐなナノロッドを成長させることを検討した。