2:00 PM - 2:15 PM
[21p-A105-5] Density Control of InAs Quantum Dots by Submonolayer Growth
Keywords:InAs, SML, MBE
InAs QDの量子ビットへの応用に向けてQD間の相互作用が発生しない、QDの低密度化を目指す必要がある。SML成長はQD形成において低密度化に成功した報告がある一方で、GaAsスペーサー層とInAs層の堆積量、層数等の複数のパラメータが表面構造に影響するため、機構解明と共に制御の指針を明らかにする必要がある。今回はQDのSML成長でInAs積層量調節による低密度化への検討を行った。