2022年第83回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

15 結晶工学 » 15.5 IV族結晶，IV-IV族混晶

[21p-A106-1~18] 15.5 IV族結晶，IV-IV族混晶

2022年9月21日(水) 13:00 〜 17:45 A106 (A106)

都甲 薫(筑波大)、松村 亮(物材機構)

14:15 〜 14:30

[21p-A106-6] Ge-on-Si(111)上に成長した歪みSiGe層の電気伝導特性に与えるクラック発生の影響

〇市川 大悟1、我妻 勇哉1、山田 道洋2、浜屋 宏平2,3、澤野 憲太郎1 (1.東京都市大学、2.阪大基礎工CSNR、3.阪大OTRI)

キーワード：SiGe/Ge、クラック、移動度