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一般セッション(口頭講演)

15 結晶工学 » 15.5 IV族結晶，IV-IV族混晶

[21p-A106-1~18] 15.5 IV族結晶，IV-IV族混晶

2022年9月21日(水) 13:00 〜 17:45 A106 (A106)

都甲薫(筑波大)、松村亮(物材機構)

14:30 〜 14:45

△ [21p-A106-7] 組成傾斜SiGeバッファ層を有する歪緩和SiGe膜の光学特性分布評価

〇柴山裕貴¹、横川凌^1,2、小椋厚志^1,2 (1.明治大理工、2.明治大MREL)

キーワード：SiGe、シリコンゲルマニウム、光学特性