[21p-A205-1~21] 3.14 シリコンフォトニクス・集積フォトニクス（旧3.15）

[21p-A205-21] 電気を一切使わないSiフォトニクス光－光制御デバイス（III）

〇李 リュウ村¹、玉貫 岳正¹、馬場 俊彦¹ (1.横国大院工)

キーワード：シリコンフォトニクス、全光制御、光スイッチ

Siフォトニクスでは光制御のために熱光学効果が多用されるが，電気配線が導入しづらい状況や爆発物がある環境では，電気を一切使わない全光制御が求められることもあると考えられる．我々は前回，光で光を制御するCMOSプロセスで製作可能な「光ヒータ」を提案した．また製作した素子において，光制御の加熱効率は電気ヒータに匹敵する可能性を示した．今回は，その素子を用いて，スイッチング動作の時間応答が電気ヒータと同程度であることも確認した．