[21p-A301-1~13] 1.3 Novel technologies and interdisciplinary engineering

△ [21p-A301-6] Characterization of the VO₂ thin films grown on glass substrates by MOD

〇(M1)Taito Fukawa¹, Kazuaki Toyoda¹, Masatoshi Koyama¹, Nobuya Hiroshiba¹, Kazuto Koike¹, Hideo Wada¹ (1.Osaka Inst. Tech.)

Keywords:vanadium dioxide, smartwindow

二酸化バナジウム (VO2) は通常70℃付近で結晶構造変化を伴う金属絶縁体転移(MIT)を示す。本研究では，ガラス基板にHf0.5Zr0.5O2 (HZO) を形成しNb添加VO2薄膜を成膜して相転移温度の低温化を行った。その結果,HZOバッファ層はガラス基板成分の拡散を防ぐとともに反射低減を助長し可視光透過率と近赤外調光率の向上に寄与することがわかった。