[21p-A301-1~13] 1.3 Novel technologies and interdisciplinary engineering

[21p-A301-7] Fabrication and Characterization for Platinum Nano-structures Using Al₂O₃ Nano-structures by ALD

〇Taegyu Woo¹, Yuuki Tsuji¹, Syouhei Lin¹, Joji Maeda¹, Taro Itatani², Takeru Amano² (1.Tokyo Univ. of Science, 2.AIST)

Keywords:Atomic Layer Deposition, Nano Structures, Platinum

近年、原子層堆積法により成膜したAl2O3膜を熱水処理することでナノ構造が形成されることが報告されている。本研究では、得られたAl2O3のナノ構造のサンプル上に、ALD法により白金を成膜し、表面に白金を有するナノ構造の試作と評価を行った。ナノ構造の高さは約270nm、構造寸法は300nm程度であり、Al2O3のナノ構造と、ほぼ同等であることが確認され、高効率な触媒などへの応用が期待される。