[21p-A306-1~16] 11.4 アナログ応用および関連技術

△ [21p-A306-5] 波長2 um帯用超伝導ナノストリップ単一光子検出器

〇(P)知名 史博¹、美馬 覚¹、三木 茂人^1,2、藪野 正裕¹、宮嶋 茂之¹、寺井 弘高¹ (1.情通機構、2.神戸大)

キーワード：超伝導ナノストリップ単一光子検出器、中赤外光子検出

本稿では波長2 um帯用の超伝導ナノストリップ単一光子検出器 (SNSPD) の開発について述べる。SiO₂とSiからなる誘電体多層膜を用いたNbTiN-SSPDの設計・作製を行い、極低温冷凍機と波長2 umの光学系からなる測定系を用いてシステム検出効率 (SDE) を評価した。動作温度0.77 Kでの測定結果から、内部検出効率が飽和し、SDEが89%に達していることを確認した。