[21p-B201-1~16] 15.4 III-V族窒化物結晶

[21p-B201-13] サファイア上へのMOVPE法によるBN成長と高温アニール

〇(M2)井谷 彩花¹、窪谷 茂幸²、肖 世玉¹、正直 花奈子¹、上杉 謙次郎^3,4、三宅 秀人¹ (1.三重大院工、2.三重大地創戦略企、3.三重大共創機構、4.三重大院地域イノベ)

キーワード：窒化ホウ素、有機金属気相成長、高温アニール