[21p-B203-1~20] 21.1 Joint Session K "Wide bandgap oxide semiconductor materials and devices"

△ [21p-B203-15] Establishment of A New Method for Fully Automated Ellipsometry Analyses of Transparent Conductive Oxides with Free Carrier Absorption

〇Yusuke Tani¹, Sara Maeda¹, Hirotaka Katayama², Daiji Kanematsu², Akira Terakawa², Hiroyuki Fujiwara¹ (1.Gifu Univ., 2.Panasonic)

Keywords:Transparent conductive oxide, Spectrosopic ellipsometry, Optical characterization

透明導電膜 (TCO) は、様々な光電子デバイスに使用されており、そのTCO膜の正確な評価には、光学定数 (屈折率n, 消衰係数k) の測定が重要である。(n, k) スペクトルの測定には、一般に分光エリプソメトリー (SE) 評価が必要であるが、SEデータ解析は複雑になり易い欠点があり、より簡便な解析方法が求められている。本研究では、フリーキャリヤ吸収を有する透明導電膜に適用可能な完全自動解析手法を確立した。