[21p-B203-1~20] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

△ [21p-B203-15] フリーキャリヤ吸収を有する透明導電膜のエリプソメトリー完全自動解析手法の確立

〇谷 勇佑¹、前田 紗良¹、片山 博貴²、兼松 大二²、寺川 朗²、藤原 裕之¹ (1.岐阜大、2.パナソニック)

キーワード：透明導電膜、分光エリプソメトリー、光学特性評価

透明導電膜 (TCO) は、様々な光電子デバイスに使用されており、そのTCO膜の正確な評価には、光学定数 (屈折率n, 消衰係数k) の測定が重要である。(n, k) スペクトルの測定には、一般に分光エリプソメトリー (SE) 評価が必要であるが、SEデータ解析は複雑になり易い欠点があり、より簡便な解析方法が求められている。本研究では、フリーキャリヤ吸収を有する透明導電膜に適用可能な完全自動解析手法を確立した。