2022年第83回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

21 合同セッションK「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」 » 21.1 合同セッションK 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[21p-B203-1~20] 21.1 合同セッションK 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

2022年9月21日(水) 13:15 〜 18:45 B203 (B203)

宇野 和行(和歌山大)、清水 耕作(日大)

18:15 〜 18:30

[21p-B203-19] 三次元集積デバイス応用に向けた非晶質酸化物半導体材料の開発

高橋 崇典1、上沼 睦典1、小林 正治2、浦岡 行治1 (1.奈良先端大、2.東京大学)

キーワード:酸化物半導体