2:00 PM - 2:15 PM
△ [21p-B203-4] Structural and optical properties of oriented β-Ga2O3 thin films on oxide-buffered polymer substrates by excimer laser annealing
Keywords:gallium oxide, excimer laser annealing, flexible device
ワイドギャップ半導体であるβ-Ga2O3薄膜をポリマー基板上に作製することで、フレキシブルデバイスとしての応用が考えられる。エキシマレーザーアニール(ELA)によるβ-Ga2O3薄膜の室温結晶化プロセスは、従来の高温成膜や電気炉による従来の熱処理と比べて、ポリマー基板の損傷を抑えた結晶化が期待できる。本研究ではELAで作製した、ポリマー基板上β-Ga2O3高配向膜の構造・光学特性について検討した。