[21p-C206-1~13] 7.1 X-ray technologies

[21p-C206-7] Measurement of Sn ion energy to extend lifetime of the collector mirror for EUV light source

〇Yoshiyuki Honda¹, Shinji Nagai¹, Hirokazu Hosoda¹, Yuto Nakayama², Takeru Niinuma², Masaki Kume², Takeshi Higashiguchi² (1.Gigaphoton Inc., 2.Utsunomiya Univ.)

Keywords:Extreme ultraviolet, Laser Produced Plasma

EUV光源コレクタミラーの長寿命化に向けて、Snイオンエネルギーの低減方法について検討することを目的に、イオンエネルギー計測を実施した。結果として、PPL照射強度を増加させた場合、Snイオンエネルギーの平均値は低減するものの最大値には影響が無いことが判明した。ミスト内に残留した、液体密度(DL密度)に近いSn粒から、高速のSnイオンが発生したと推定をしている。