[21p-C206-1~13] 7.1 X線技術

[21p-C206-7] EUV光源コレクタミラーの長寿命化に向けたSnイオンエネルギー計測

〇本田 能之¹、永井 伸治¹、細田 裕計¹、中山 勇冬²、新沼 大登²、久米 真樹²、東口 武史² (1.ギガフォトン株式会社、2.宇都宮大学)

キーワード：極端紫外線、レーザー生成プラズマ

EUV光源コレクタミラーの長寿命化に向けて、Snイオンエネルギーの低減方法について検討することを目的に、イオンエネルギー計測を実施した。結果として、PPL照射強度を増加させた場合、Snイオンエネルギーの平均値は低減するものの最大値には影響が無いことが判明した。ミスト内に残留した、液体密度(DL密度)に近いSn粒から、高速のSnイオンが発生したと推定をしている。