[21p-P12-1~54] 17 ナノカーボン(ポスター)

[21p-P12-50] グラファイト/MoTe₂/グラファイト積層構造の作製と電気伝導特性評価

〇冨塚 祐弥¹、Zulkefli Amir²、岩﨑 拓哉²、渡辺 英一郎²、津谷 大樹²、若山 裕²、中払 周²、森山 悟士¹ (1.東京電機大、2.物材機構)

キーワード：TMDC、MoTe2

炭素原子層1層のグラファイト(Gr)であるグラフェンや、遷移金属ダイカルコゲナイド(Transition metal dichalcogenides, TMDC)、六方晶窒化ホウ素(hBN)といった様々な物性を持つ異なる2次元材料を積層した原子層ヘテロ構造は、新奇物性と電子・光デバイス応用の観点から大きな関心を集めている。特にTMDCは、電子物性が大きく異なる複数の単層結晶構造を持つという、グラフェンには存在しない特徴を有しており、TMDCにおける相変化の材料探索および電子物性は理論・実験の両面から近年活発に進められている。今回我々は相変化の電気的制御を目指し、グラファイトを電極としたTMDC素子としてGr/MoTe₂/Gr積層構造素子を作製し、その電気伝導特性を評価したので報告する。