[22a-A102-1~11] 13.5 Semiconductor devices/ Interconnect/ Integration technologies

△ [22a-A102-9] Cryogenic active inductors toward dense spin qubit readout circuits

〇Tokio Futaya¹, Raisei Mizokuchi¹, Jun Kamioka¹, Jun Yoneda¹, Tetsuo Kodera¹ (1.Tokyo Tech.)

Keywords:silicon quantum computer, spin qubit, MOSFET

シリコン量子ビットは大規模な集積化に適しているが、量子ビット読み出し回路に利用されるコイルの物理的な大きさが将来的な集積化の障害となる懸念がある。本研究ではMOSFETを用いたアクティブインダクタ回路でコイルを置き換えて、極低温下で実装することを目的とし、実験を行った。MOSFET単体の極低温下の高周波特性から極低温アクティブインダクタ回路の動作を推定し、読み出し回路に利用できるインダクタンス値を得ることに成功した。