[22a-A106-1~8] 12.6 ナノバイオテクノロジー

[22a-A106-4] ナノポアDNAシーケンサに向けたTMAHによるメンブレン構造の作製

〇青島 健人¹、大勝 賢樹¹、賀 智凱¹、島田 郁子¹、真島 豊¹ (1.東工大フロンティア研)

キーワード：ナノポアDNAシーケンシング

近年、ナノポアにより塩基配列を直接読み取るDNAシーケンサが注目を集めている。これまでに、我々は電子線リソグラフィ、各種ドライエッチング技術、無電解金めっき手法を組み合わせることによって、メンブレン上に金属ナノポアを作製し、DNAシーケンシングを試みてきた。今回、TMAH水溶液を用いたウェットエッチングプロセスを最適化し、従来よりも簡便なプロセスで金属ナノポアを有するメンブレン構造の作製を試みたため報告する。