[22a-A202-1~9] 6.2 Carbon-based thin films

[22a-A202-1] Shape changes in amorphous carbon films by laser irradiation

〇Dai Harada¹, Sarayut Tunmee², Yuko Aono¹, Chanan Euaruksakun², Ukit Rittihong², Yuki Hirata¹, Naoto Ohtake¹, Hiroki Akasaka¹ (1.Tokyo Tech, 2.Sync. Light Res. Inst.)

Keywords:Amorphous carbon, Laser

アモルファス炭素膜にパルスレーザを照射すると，形状が変化すると共に表面でsp²結合炭素が増加し，摩擦係数が低下した．sp²結合炭素に代表されるグラフェンは固体潤滑材としてふるまう為，sp²結合炭素の増加が摺動性能向上に寄与したと考えられる．一方でレーザ照射による形状変化の理由は明確ではない．本研究はアモルファス炭素膜のレーザ照射前後の断面形状を評価し，レーザ照射により形状がなぜ変化したかを考察した．