[22a-A202-1~9] 6.2 カーボン系薄膜

[22a-A202-1] パルスレーザ照射によるアモルファス炭素膜の形状変化

〇原田 大¹、Tunmee Sarayut²、青野 祐子¹、Euaruksakun Chanan²、Rittihong Ukit²、平田 祐樹¹、大竹 尚登¹、赤坂 大樹¹ (1.東工大、2.タイ放射光研)

キーワード：アモルファス炭素膜、レーザー

アモルファス炭素膜にパルスレーザを照射すると，形状が変化すると共に表面でsp²結合炭素が増加し，摩擦係数が低下した．sp²結合炭素に代表されるグラフェンは固体潤滑材としてふるまう為，sp²結合炭素の増加が摺動性能向上に寄与したと考えられる．一方でレーザ照射による形状変化の理由は明確ではない．本研究はアモルファス炭素膜のレーザ照射前後の断面形状を評価し，レーザ照射により形状がなぜ変化したかを考察した．